TS33030-405 UVLED抽屜式晶圓解膠機

電壓輸入 : AC 110 V 15A(800W)
設備尺寸 : 750*636*500mm
UV 波長 : 405nm
有效面積：300mm*300mm
載盤尺寸 : 12吋晶圓,高度10mm
光輸出強度：300mW/cm2
控制模組：HMI觸控式介面
能量調控 : 10%~100%
可8段能量與時間參數設定
高壓軸流風扇冷卻
溫度自我保護裝置與警示功能
可外接PLC