12吋晶圓UVLED解膠模組
UV LED波長 : 365nm
有效面積：310mm*310mm
控制系統：4.3吋 HMI 觸控式介面
直覺式能量調控範圍 : 10%~100%
光輸出功率：>200mW/cm2
解膠處理時間：2-3秒(以解膠需求劑量500mJ/cm2為例)
全電壓輸出(AC 110/220 V)，適合各種電源配置
自體風扇進氣
溫度自我保護裝置
可外接PLC控制
有效面積：310mm*310mm
控制系統：4.3吋 HMI 觸控式介面
直覺式能量調控範圍 : 10%~100%
光輸出功率：>200mW/cm2
解膠處理時間：2-3秒(以解膠需求劑量500mJ/cm2為例)
全電壓輸出(AC 110/220 V)，適合各種電源配置
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