Excimer 172 nm 表面處理系統

▲UV波長：172 nm
▲有效發光長度：120～1540 mm
▲應用：材料表面處理、表面改質
▲照度：300 mW/cm2以上（照射距离0 mm)
▲軸方向均匀度：±10 %以下
▲冷卻方式：水冷
▲使用壽命：>>2000 Hr